一、空調(diào)凈化系統(tǒng)
空調(diào)凈化的設(shè)計(jì)是與工藝的布局、生產(chǎn)的流程密切結(jié)合的。不同類型、不同用途的廠房空調(diào)凈化系統(tǒng)都各有特點(diǎn),下面來介紹硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。
(1)空調(diào)系統(tǒng)
①切片室、倒角室、研磨片室僅有溫度控制要求,設(shè)風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)(PAC)來保證房間溫度要求,室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi),接風(fēng)管,采用雙層百葉風(fēng)口側(cè)送風(fēng)方式;室外機(jī)放置在屋面上。切片室的排風(fēng)量較大,新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵型屋頂空調(diào)機(jī)S1-1和S1-2來補(bǔ)充。車間有防塵要求,風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過濾器(大氣塵計(jì)數(shù)效率:≥60%,對(duì)于≥1μm粒子),同樣屋頂式空調(diào)機(jī)需設(shè)兩級(jí)過濾器。
②爐室、BSD室僅有溫度控制要求,設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)(PAC) 來保證房間溫度要求,室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi),接風(fēng)管,采用方形散流器頂送風(fēng)方式;室外機(jī)放置在屋面上。新風(fēng)由相鄰潔凈室正壓過來。車間有防塵要求,風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過濾器(大氣塵計(jì)數(shù)效率:≥60%,對(duì)于≥1μm粒子)。
③磨片檢查室有溫度和濕度控制要求,設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)(PAC)來保證房間溫度要求,室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi),接風(fēng)管,采用方形散流器頂送風(fēng)方式;室外機(jī)放置在屋面上。新風(fēng)經(jīng)新風(fēng)機(jī)組(MAU-1.2)處理后,接至送風(fēng)管上送到室內(nèi),相對(duì)濕度由新風(fēng)機(jī)組來保證。新風(fēng)機(jī)組是與凈化系統(tǒng)共用的。車間有防塵要求,風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過濾器(大氣塵計(jì)數(shù)效率:≥60%,對(duì)于≥1μm粒子),新風(fēng)機(jī)組內(nèi)設(shè)粗、中效過濾器。
(2)凈化系統(tǒng)
凈化系統(tǒng)用的新風(fēng)空調(diào)機(jī)組(MAU)和循環(huán)空調(diào)機(jī)組(AHU)的冷媒采用6~11C的冷凍水,加熱采用0.2MPa蒸汽,加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕,潔凈蒸汽由純水經(jīng)潔凈蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。
①CP室凈化級(jí)別為7級(jí),換氣次數(shù)取為30次/小時(shí),CP室工藝設(shè)備用酸量較多,采用全新風(fēng)空調(diào)機(jī)組(MAU-3)+高效過濾器送風(fēng)口(HEPABOX)的空調(diào)方式。其氣流流程為:新風(fēng)入口→粗效過濾器→中效過濾器→預(yù)加熱器→表冷器→加熱器→潔凈蒸汽加濕→送風(fēng)機(jī)→送風(fēng)管→高效過濾器送風(fēng)口→潔凈區(qū)。
②ML室凈化級(jí)別為7級(jí),換氣次數(shù)取為30次/小時(shí),采用新風(fēng)機(jī)組(MAU)+循環(huán)機(jī)組(AHU)+高效過濾器送風(fēng)口(HEPABOX)的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用MAU-1.2新風(fēng)組。
③CP/CVD 室、LP-CVD室、潔凈包裝間凈化級(jí)別為6級(jí),換氣次數(shù)取為50次/小時(shí),采用新風(fēng).機(jī)組(MAU)+循環(huán)機(jī)組(AHU)+高效過濾器送風(fēng)口(HEPABOX)的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1.2新風(fēng)組。
④7級(jí)、6級(jí)的潔凈室采用的氣流形式為頂部高效過濾器送風(fēng)口送風(fēng),房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。其氣流流程為:新回風(fēng)混合→中效過濾器→表冷器→送風(fēng)機(jī)→送風(fēng)管→高效過濾器送風(fēng)口→潔凈區(qū)→房間側(cè)下百葉回風(fēng)口→回風(fēng)管→新回風(fēng)混合。
⑤洗凈室、品質(zhì)檢查室凈化級(jí)別為5級(jí),采用新風(fēng)機(jī)組(MAU)+循環(huán)機(jī)組(AHU)+風(fēng)機(jī)過濾器單元(FFU)的空調(diào)方式。采用的氣流形式為頂部FFU 送風(fēng),房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿布率為33%,洗凈室、品質(zhì)檢查室對(duì)NH4+、SOx濃度有要求,需在循環(huán)機(jī)組(AHU)內(nèi)增設(shè)化學(xué)過濾器。5級(jí)凈化間的氣流流程為:新回風(fēng)混合→化學(xué)過濾器(NH+)→化學(xué)過濾器(SOx)→中效過濾器→表冷器→送風(fēng)機(jī)→送風(fēng)管→送風(fēng)靜壓箱→風(fēng)機(jī)過濾器單元(FFU)→潔凈區(qū)→房間側(cè)下百葉回風(fēng)口→回風(fēng)管→新回風(fēng)混合。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1.2新風(fēng)組。
⑥除CP室外的潔凈室所需新風(fēng)采用2臺(tái)新風(fēng).機(jī)組(MAU-1、2并聯(lián))集中處理,新風(fēng)集中處理后送至各循環(huán)機(jī)組(AHU)。其氣流流程為:新風(fēng)入口→粗效過濾器→中效過濾器→預(yù)加熱器→表冷器→加熱器→潔凈蒸汽加濕→送風(fēng)機(jī)→送風(fēng)管→各循環(huán)空調(diào)機(jī)組(AHU)。
⑦CP室、ML室、洗凈室用酸量相對(duì)較多,CP室、ML室內(nèi)的高效過濾器送風(fēng)口的擴(kuò)散板需采用不銹鋼板制作,洗凈室內(nèi)的FFU的網(wǎng)板需采用不銹鋼板制作。
⑧另需注意,品質(zhì)檢查室根據(jù)工藝要求需采用黑色墻板、黑色頂板,相應(yīng)采用黑色回風(fēng)口,FFU的網(wǎng)板需采用黑色網(wǎng)板。
二、凈化系統(tǒng)的空調(diào)自動(dòng)控制
新風(fēng)機(jī)組(MAU-1.2)采用變頻風(fēng)機(jī),由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器來控制變頻器。在接入每個(gè)風(fēng)量及正壓控制循環(huán)機(jī)組(AHU)的新風(fēng)管上均設(shè)置電動(dòng)調(diào)節(jié)閥,由各潔凈室的正壓值來調(diào)節(jié)電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開度,使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量的變化而變化,電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開度變化引起總送風(fēng)管上的靜壓變化,根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)MAU-1.2的風(fēng)機(jī)頻率,以達(dá)到控制目的。
(2)凈化車間的溫濕度控制
凈化生產(chǎn):車間的濕度是由新風(fēng)機(jī)組MAU-1.2.來保證,控制新風(fēng)機(jī)組送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn),根據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值來調(diào)節(jié)干蒸汽加濕器的電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動(dòng)二通閥的開度。露點(diǎn)溫度DPT由檢查室內(nèi)濕度敏感元件HE連續(xù)整定。凈化生產(chǎn)車間的溫度是由循環(huán)機(jī)組AHU來保證的,根據(jù)室內(nèi)溫度來調(diào)節(jié)表冷器回水管上的電動(dòng)二通閥的開度。
(3)供冷系統(tǒng)控制
冷凍水系統(tǒng)方面采用一級(jí)泵,用負(fù)荷控制的方法來確定冷水機(jī)組及相應(yīng)水泵、冷卻塔的開啟臺(tái)數(shù)。根據(jù)設(shè)定供、回水壓差來自動(dòng)控制供、回水主管之間壓差流量旁通閥。
?

廣東賽特凈化設(shè)備有限公司工程項(xiàng)目服務(wù)范圍:潔凈車間、無塵車間、百級(jí)生產(chǎn)車間、食品廠潔凈車間、食品廠無塵車間、GMP車間、藥廠生產(chǎn)車間、實(shí)驗(yàn)室、微生物實(shí)驗(yàn)室、膠囊潔凈車間、膠囊無塵車間、干細(xì)胞實(shí)驗(yàn)室、凍干粉針劑潔凈車間、凍干粉針劑無塵車間、電子廠無塵車間、鋰電池車間、鋰電池潔凈車間、鋰電池?zé)o塵車間、手術(shù)室、試劑室、膠體金生產(chǎn)車間、膠體金潔凈車間、生物實(shí)驗(yàn)室、PCR實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)療器械無塵車間、醫(yī)療器械潔凈車間、藥廠潔凈車間、藥廠GMP車間、電子廠潔凈車間、單晶硅潔凈車間、單晶硅無塵生產(chǎn)車間、保健品潔凈車間、保健品無塵車間、保健品GMP車間、大輸液潔凈車間、針劑潔凈車間、印刷車間、二極管潔凈車間、二極管無塵車間、壓片糖潔凈車間、壓片糖無塵車間、奶粉潔凈車間、奶粉生產(chǎn)車間、奶粉無塵車間、電子材料潔凈車間、電子材料無塵車間、口罩潔凈車間、口罩生產(chǎn)車間、光學(xué)材料無塵車間、光學(xué)材料潔凈車間、光學(xué)材料生產(chǎn)車間。
廣東賽特凈化設(shè)備有限公司聯(lián)系方式:020—38090335 ?38090329