《潔凈廠房設計規(guī)范》對潔凈廠房疏散走廊明確提出了機械排煙要求，但對于潔凈室沒有明確規(guī)定一定要設機械排煙，實際工程中各地消防部門對于集成電路廠房潔凈室是否設排煙的問題上要求也不一致；但集成電路生產(chǎn)企業(yè)的業(yè)主通常會將整個廠房進行投保，由于集成電路生產(chǎn)中要使用多種易燃的氣體和液體，保險商一般均要求潔凈室設置機械排煙措施，否則增加保費。所以在集成電路潔凈工程中，潔凈室機械排煙經(jīng)常是不可回避的問題。集成電路廠房潔凈室國內(nèi)外目前常用的排煙方式有兩種：即下排煙和上排煙。
一、下排煙方式
下排煙一般是在潔凈室回風下夾層或回風豎井內(nèi)設置排煙口，當潔凈室或潔凈室下夾層發(fā)生火災時，則打開排煙口，開啟排煙風機進行排煙，此時新風機組繼續(xù)運行，往潔凈室上夾層內(nèi)補充新風，并通過必要的閥門切換使上夾層與潔凈室和下夾層隔開，上夾層內(nèi)新風由FFU送入室內(nèi)。
采用下排煙必須有以下條件：即潔凈室發(fā)生火災時，潔凈室頂部FFU下吹的斷面風速必須大于煙氣上升的速度，否則煙氣會在潔凈室頂部積聚。通常FFU下吹速度為0.25~0.5m/s，而火災的熱釋放率只要大于3kW，煙氣的上升速度就會大于0.5m/s，所以下排煙方式只是在潔凈室發(fā)生小火災時有效。下排煙方式最近幾年在國外的一些集成電路廠房中得到應用，但國內(nèi)工程中用得較少。
二、上排煙方式
上排煙是在潔凈室吊頂上設置排煙口，通過排煙風管將各排煙口連接至排煙風機，當潔凈室發(fā)生火災時，打開排煙口，開啟排煙風機進行排煙，排煙時新風機組繼續(xù)運行，向回風豎井內(nèi)補風。上排煙方式潔凈室內(nèi)煙氣上升氣流和排煙氣.流方向一致，排煙效果比較理想，目前在工程中得到廣泛的應用。
但采用上排煙方式實際工程中通常會出現(xiàn)以下兩個問題，第一個問題是排煙口的布置，在非單向流潔凈室中比較好解決，由于頂部的FFU沒有滿布，只需在盲板處設排煙口即可；而單向流潔凈室由于頂部滿布FFU，且集成電路廠房的潔凈室跨度都很大，只在側面布置排煙口又不能滿足要求，所以不可避免會出現(xiàn)的要在滿布FFU的潔凈室吊頂上設置排煙口，據(jù)了解目前已有一些制造公司開發(fā)出FFU和排煙口結合在一起的產(chǎn)品，使這問題得以解決。第二個問題是排煙分區(qū)問題，目前集成電路 生產(chǎn)廠房潔凈室基本上都采用Ballroom方式，潔凈面積達1萬多平方米的潔凈室?guī)缀鯖]有分隔，而工藝生產(chǎn)又都采用自動物料處理系統(tǒng)(AMHS)，各生產(chǎn)區(qū)域頂部都設有縱橫交錯的吊掛傳輸系統(tǒng)(OHT)， 劃分排煙分區(qū)確實比較困難，實際工程中經(jīng)常將整個Ballroom視為一個區(qū)，這又會面臨排煙量極大的問題，為減少排煙系統(tǒng)風量，在某些工程中將工藝設備局部排風系統(tǒng)兼作排煙，但排風系統(tǒng)的管道、配件及設備應滿足排煙要求。
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