一、二次配管配線
（1）生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)在找正、調(diào)平并經(jīng)檢驗(yàn)合格后，再進(jìn)行設(shè)備所需水、電、氣、排風(fēng)等二次配管配線施工。工藝設(shè)備二次配管配線除應(yīng)符合下列規(guī)定：
1二次配管配線的主材應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備一致，各種墊料、填料等輔材應(yīng)與相關(guān)配管配線的工程設(shè)計(jì)一致，并應(yīng)采用密封性能好且不產(chǎn)塵的材料。
2二次配管預(yù)制作業(yè)應(yīng)在專設(shè)的防塵、防靜電的潔凈工作小室內(nèi)進(jìn)行，加工件應(yīng)經(jīng)潔凈處理后密封搬入潔凈室(區(qū))內(nèi)。
3碳鋼支、吊架應(yīng)采用鍍鋅材料，切割端面亦應(yīng)做防銹處理，安裝應(yīng)牢固可靠；不銹鋼管與碳鋼支架、管卡之間應(yīng)分別設(shè)隔離墊和隔離套管，隔離墊宜用軟質(zhì)聚四氟乙烯板，套管宜用聚乙烯軟管。
4上技術(shù)夾層引下的管線，宜從增設(shè)在生產(chǎn)工藝設(shè)備附近的管線柱內(nèi)敷設(shè)。管線柱高度宜高于房間吊頂，柱壁可采用裝飾用不銹鋼管或用型鋼作框架，框架外貼裝飾應(yīng)用不銹鋼面板；柱壁上可安裝電氣插座、開關(guān)箱及閥門等。
（2）二次配管配線的施工安裝應(yīng)避免在潔凈室(區(qū))內(nèi)進(jìn)行鋸、銼、鉆、鑿等作業(yè)，個別情況不可避免時(shí)，應(yīng)在產(chǎn)塵處采用真空吸塵接口或吸塵器不間斷地吸除塵粒。
（3）二次配管完成后，不宜進(jìn)行沖洗或吹洗、嚴(yán)密性試驗(yàn)。若需要時(shí)，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備和廠房內(nèi)配管連接狀況制訂安全技術(shù)措施，并應(yīng)經(jīng)批準(zhǔn)后再實(shí)施。
二、設(shè)備安裝
（1）生產(chǎn)工藝設(shè)備安裝施工條件宜符合下列規(guī)定：
1安裝生產(chǎn)工藝設(shè)備前，潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)正常運(yùn)行48h，照明系統(tǒng)應(yīng)已正常工作，且現(xiàn)場應(yīng)有便捷電源供應(yīng)；
2大型、特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備，應(yīng)按設(shè)計(jì)要求在凈化空調(diào)系統(tǒng)安裝前就位，可按規(guī)范進(jìn)行；
3潔凈室(包括風(fēng)淋室)應(yīng)已啟用，并應(yīng)建立潔凈廠房設(shè)備安裝管理操作規(guī)程。
（2）潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備安裝施工用輔助材料應(yīng)符合下列規(guī)定：
1應(yīng)為無塵、無銹、無油脂且在使用過程中不產(chǎn)塵的清潔材料；
2應(yīng)以潔凈、無塵的板材、薄膜等材料保護(hù)潔凈室(區(qū))的建筑裝飾表面；
3設(shè)備墊板應(yīng)按設(shè)計(jì)或設(shè)備技術(shù)文件要求制作，如無要求時(shí)可用不銹鋼板或塑料板；
4制作獨(dú)立基礎(chǔ)和地板加固用的碳鋼型材應(yīng)經(jīng)防腐處理，表面應(yīng)平整、光滑；
5用于嵌縫的彈性密封材料應(yīng)有注明成分、品種、出廠日期、儲存有效期和施工方法的說明書及產(chǎn)品合格證書。
（3）潔凈室(區(qū))使用的機(jī)具不得搬至非潔凈室(區(qū))使用，非潔凈室(區(qū))使用機(jī)具不得搬至潔凈室(區(qū))使用，潔凈區(qū)使用機(jī)具應(yīng)符合下列規(guī)定：
1機(jī)具外露部分不應(yīng)產(chǎn)塵或采取防止塵埃污染環(huán)境的措施；
2常用機(jī)具在搬入潔凈區(qū)前應(yīng)在氣閘室進(jìn)行清潔處理，應(yīng)達(dá)到無油、無垢、無塵、無銹的要求，并應(yīng)經(jīng)檢查合格貼上“潔凈”或“潔凈區(qū)專用”標(biāo)識后搬入。
（4）設(shè)備特殊基礎(chǔ)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1潔凈室地面為活動地板時(shí)，基礎(chǔ)宜設(shè)置在下技術(shù)夾層地坪上或混凝土多孔板上；
2鋼制框架結(jié)構(gòu)的獨(dú)立基礎(chǔ)應(yīng)采用鍍鋅材料或不銹鋼材料制作，外露表面應(yīng)平整、光滑；
3安裝基礎(chǔ)所需拆除的活動地板，經(jīng)手持電鋸切割后的鋼結(jié)構(gòu)應(yīng)予加固，其承載能力不應(yīng)低于原承載能力。
（5）墻板、吊頂和活動地板開洞應(yīng)符合下列規(guī)定：
1開洞作業(yè)不得劃傷或污染需保留的墻板、吊頂板表面，活動地板開口后不能及時(shí)安裝基礎(chǔ)時(shí)，應(yīng)設(shè)安全護(hù)欄并設(shè)危險(xiǎn)標(biāo)識；
2生產(chǎn)設(shè)備安裝后，洞口四周間隙應(yīng)進(jìn)行密封處理，并應(yīng)做到設(shè)備與密封組件為柔性接觸；密封組件與壁板的連接應(yīng)緊密、牢固；工作間一側(cè)的密封面應(yīng)平整、光滑。
（6）拆除包裝應(yīng)符合下列規(guī)定：
1設(shè)備開箱拆除外包裝應(yīng)在設(shè)備搬入平臺上進(jìn)行，并不得破壞內(nèi)包裝；
2設(shè)備的內(nèi)包裝應(yīng)在氣閘室前拆除，拆除前應(yīng)先用吸塵器、潔凈布清除內(nèi)包裝外表面的塵粒。
（7）生產(chǎn)設(shè)備從搬入平臺經(jīng)搬入口、氣閘室至潔凈室(區(qū))的搬運(yùn)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1對搬入設(shè)備的最大件無法通過預(yù)留的門洞時(shí)，可保護(hù)性拆除門或潔凈室隔斷，應(yīng)在設(shè)備搬入后再恢復(fù)到原有狀態(tài)；
2沿搬運(yùn)路線的門框、墻角等處應(yīng)設(shè)保護(hù)措施；
3在活動地板上搬運(yùn)設(shè)備時(shí)，應(yīng)敷設(shè)軟塑料保護(hù)層和不銹鋼板或鋁合金板；
4當(dāng)搬運(yùn)重量超過活動地板的承載能力時(shí)，應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場實(shí)際情況采取加固措施，并應(yīng)采用不產(chǎn)塵的材料。
（8）潔凈室(區(qū))內(nèi)搬運(yùn)生產(chǎn)工藝設(shè)備，宜采用搬運(yùn)車或氣墊搬運(yùn)裝置。搬運(yùn)時(shí)應(yīng)控制其行進(jìn)速度不得大于1m/s。
（9）設(shè)備就位安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：
1在自流坪地面安裝設(shè)備時(shí)，應(yīng)有地面保護(hù)措施；
2在活動地板上吊裝設(shè)備時(shí)，應(yīng)核對活動地板的允許荷載，當(dāng)允許荷載不能滿足起吊荷重時(shí)，應(yīng)對活動地板進(jìn)行加固；
3設(shè)備就位安裝需開孔時(shí)，應(yīng)采用真空吸塵接口或吸塵器吸除所產(chǎn)生的塵粒，直至吸盡孔內(nèi)積存的塵粒。
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