一、全新風的凈化空調(diào)送風方案
全新風凈化空調(diào)送風方案用于特殊的、不允許回風的潔凈室的送風方案中。
二、一次回風的凈化空調(diào)送風方案
一次回風的送風方案多用在潔凈室內(nèi)的發(fā)熱量或產(chǎn)濕量很大，消除室內(nèi)余熱或余濕的送風大于、等于或近于凈化送風量的低潔凈度等級的非單向流潔凈室中。
三、一、二次回風的凈化空調(diào)送風方案
為了節(jié)能、消除空氣熱濕處理過程中的冷熱相互抵消現(xiàn)象，在潔凈室凈化送風量大于其消除余熱、余濕的空調(diào)送風量時，盡量采用一、二次回風方案，將二次混合點設計在系統(tǒng)送風點上，該訪案是比較節(jié)能、經(jīng)濟的送風方案。
四、新風機組(MAU)+循環(huán)機組(RAU)的凈化空調(diào)送風方案
此方案多于多個潔凈室，其潔凈度、溫濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕也不相近，為了確保每個潔凈室的潔凈度、溫濕度及其精度的要求，就要設置多個循環(huán)機組，循環(huán)機組的送風量是凈化送風量，并且在機組內(nèi)設置必要的熱、濕處理設備，用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機組設在潔凈室的頂棚內(nèi)，循環(huán)機組的送風余壓相對都較小，機組體積和機組噪聲、振動也較小，送回風管也比較短小，但是要注意循環(huán)機組的凝結水排放問題，這種方案的問題往往都出在凝結水排放的處理上；此方案的新風機組設在空調(diào)機房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風全部由新風機組(MAU)進行凈化和熱濕的集中處理，然后分配到每一個循環(huán)機組內(nèi)與其回風混合。新風機組的新風量不僅僅要補充各潔凈室的排風，還要保證每個潔凈室的正壓，新風機組的熱濕處理盡量到某潔凈室空氣的機械露點上。如果新風熱濕處理點低于潔凈室的機械露點，新風不僅承擔新風本身的濕負荷，而且還將潔凈室的濕負荷也消除掉，此時循環(huán)機組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。
五、空調(diào)機組(AHU) +風機過濾器機組(FFU)的凈化空調(diào)送風方案
此方案中凈化空調(diào)系統(tǒng)的全部熱、負荷(潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、負荷及新風的熱、負荷)全部由設在空調(diào)機房內(nèi)的空調(diào)機組來負擔。此時空調(diào)機組的送風量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風量(其中包括全部新風和部分回風，但遠遠小于保證潔凈室潔凈度等級的凈化送風量)，它應能確保潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度的恒定。而該潔凈室的潔凈度由設在潔凈室頂棚上的風機過濾器機組(FFU)將凈化送風量就地循環(huán)過濾來保證。此方案中應該注意的是，FFU運行過程中所產(chǎn)生的熱量也應由空調(diào)機組來承擔。此方案更適合用于在大面積非單向流潔凈室內(nèi)有局部的垂直單向流的混合流潔凈室中。
六、新風機組(MAU)+循環(huán)機組(RAU) +風機過濾器單元(FFU)凈化空調(diào)送風方案當多個潔凈室中有若干個1級、10級、100級等高凈化級別的垂直單向流潔凈室時，為了減少循環(huán)機組(RAU)的負擔和送、回風管道的斷面，此時循環(huán)機組僅解決該單向流潔凈室的空調(diào)送風量，以保證潔凈室的溫度、相對濕度和潔凈室的正壓，而90%以上的絕大部分送風量由設在潔凈室頂棚上的FFU來負擔，以保證潔凈室的高潔凈度級別。
七、新風機組(MAU)+風機過濾器機組(FFU)+干冷盤管(DC)的凈化空調(diào)送風方案此方案是新風機組將新風處理到潔凈室熱濕比線與95%相對濕度線交點以下，新風機組不僅將本身的濕負荷去掉，而且還負擔潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負荷，新風機組要確保潔凈室所需要的相對濕度。而新風機組熱處理不足的部分干冷負荷由設在潔凈室頂棚上(或夾道內(nèi))的干表冷器來補充。因干表冷器是設在FFU循環(huán)空氣通過的頂棚上或夾道內(nèi)，因此干表冷所彌補的干冷負荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。由新風機組處理過的新風用管道以能與FFU循環(huán)空氣均勻混合的方式送到潔凈室的送風靜壓箱內(nèi)，FFU布置在潔凈室的頂棚上，與新風混合的循環(huán)風經(jīng)FFU被高效過濾器過濾后送到潔凈室內(nèi)，以保證潔凈室的潔凈度。FFU 的規(guī)格以1200mm×600mm和1200mm×1200mm居多，其斷面風速應為≥0.45m/s，余壓應≥120Pa，噪聲應≤50dB (A)為好。FFU的風機風量應可調(diào)，高效過濾器應可更換，干冷盤管一般由雙排組成，為了減小阻力，鋁翅片間距應≥3mm，阻力損失應為30~40Pa，循環(huán)風通過干盤管的面風速應<2m/s，盡量為1.5m/s。進入干盤管冷水的進水溫度應高于潔凈室露點溫度2℃，通常稱為中溫冷水，雖然叫干盤管，但在起始運行時還可能有凝結水產(chǎn)生，因此干盤管還應有凝結水滴水盤和排水措施。此方案中潔凈室的相對濕度由新風機組(MAU)來保證，潔凈室的溫度由干冷盤管來保證，潔凈室的潔凈度由FFU來保證。這種MAU加FFU加DC的凈化空調(diào)送風方案，目前在我國和外國的微電子(集成電路)工業(yè)、光電子(TFT—LCD、LCD、LED等)工業(yè)等大面積、高潔凈度等級的潔凈廠房中得以廣泛應用，它具有調(diào)節(jié)方便，節(jié)能顯著，適應工藝的更新?lián)Q代，大大地節(jié)省了非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間的優(yōu)點。且，隨著潔凈技術和潔凈設備的不斷發(fā)展和進步，FFU風機的效率不斷提高，耗電不斷降低，整體價格不斷下降，其初投資也與其他類型的送風方案基本持平，但運行費用大大節(jié)省。
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